Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V., Institut für Mikro- und Informationstechnik, Villingen-Schwenningen
          sensor          mst          sensors          actuators          mems          quarz          hsg          mems-sensors          microsystems          microsystem          mikromechanik          microsystems-technology          imit          mikrosystemtechnik          sensorik      
    - 
            Updated
            Sep 26, 2025